規(guī)格參數(shù) | TLS-NC-1010 | |
工 作 臺 |
X/Y軸行程 | 1000MM*1000MM |
Z軸行程 | 有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm,工作距離95mm | |
金屬臺面尺寸 | 1450MM*1450MM | |
玻璃臺面尺寸 | 1050MM*1050MM | |
傳動型式 | X/Y/Z軸精密線性導(dǎo)軌,X/Y軸精密光軸傳動,Z軸滾珠螺桿傳動 | |
測量伺服驅(qū)動 系統(tǒng) |
光學(xué)尺分辨率:X/Y/Z軸0.0005MM(0.5UM) | |
測量精度:≤3UM+L/200 重復(fù)精度:≤3UM+L/200 | ||
Z軸高性能伺服電機(jī),雙重閉環(huán)控制系統(tǒng) | ||
影像系統(tǒng) | 攝像機(jī):日本彩色 1/3″800TVL CCD 攝像機(jī)放大倍率30-230X | |
連續(xù)變倍鏡頭:NAV高清變倍鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-4.5X 可選配0.5X物鏡時(shí),總放大倍率15-115X 可選配2X物鏡時(shí),總放大倍率60-460X |
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光源系統(tǒng) | 表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調(diào) | |
儀器外形尺寸(L*W*H) | 2600MM*2000MM*1750MM | |
儀器重量(KG) | 3000KG |