泰勒斯（天津）科技有限公司
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地址：天津市津南區(qū)雙港開發(fā)區(qū)北京街7號廠房底商
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AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)_晶圓搬運(yùn)_國產(chǎn)晶圓搬送機(jī)
發(fā)布時間：2023-04-28 09:48:38 瀏覽次數(shù)：
SOPTOP全新半導(dǎo)體工業(yè)檢測產(chǎn)品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)，兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
一個晶圓在經(jīng)過一系列復(fù)雜工序后終變成多個IC單元，期間晶圓需要依賴晶圓搬運(yùn)機(jī)在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。
SOPTOP推出了AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)（晶圓搬送機(jī)），擁有 AWL046、AWL068、AWL812三種機(jī)型，多類配置分別可適用于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測，適應(yīng)范圍廣、搭配靈活 。
360°宏觀檢查
AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面大傾斜角度70°，晶背 1 大傾斜角度 90°，晶背 2大傾斜角度 160°，利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜角度，完全可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面大傾斜角度70°，晶背 1 大傾斜角度 90°，晶背 2大傾斜角度 160°，利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜角度，完全可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
人機(jī)工程學(xué)設(shè)計
LCD 顯示屏，可為操作者提供更直觀的視覺體驗(yàn)，可清晰的顯示當(dāng)前檢查項(xiàng)目及次序，調(diào)試參數(shù)一目了然。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率，充分體現(xiàn)了國產(chǎn)晶圓搬送機(jī)的人機(jī)工程學(xué)設(shè)計理念。
精密微觀檢查
采用專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡，可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統(tǒng)，可排查 μm 級異常，諸如孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等。
采用專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡，可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統(tǒng)，可排查 μm 級異常，諸如孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等。
應(yīng)用領(lǐng)域
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